表面事业部宋振纶课题组自行设计，并委托外加工制造的连续式多腔体物理气相沉积系统经历了设计、加工、安装、调试、以及后期的问题排查和优化后，于12月5日顺利通过验收。现场验收小组由课题组组长宋振纶研究员带领。

该设备由三个模块化腔体构成，可以实现溅射镀膜、电子束蒸发和多弧离子镀等功能，也能实现多种镀膜方法集成。同时，系统还配备了直流与射频电源，增加了腔体加热、样品加热烘烤等功能，极大拓宽了靶材的选用范围，提高了镀膜品质，使其具备批量生产多种功能薄膜的能力。

工程师林秀清现场指导操作

验收现场，沈阳科学仪器有限公司的工程师林秀青和白雪首先进行了设备操作演示，然后针对设备运行中的维护和注意事项进行了简短的培训，最后对大家提出的问题和改进建议进行了解答和记录。最后，验收小组认真审核了设备相关技术指标和资料，认为设备主要指标均已达到合同要求，完成了设备验收和交接。

课题组成员与工程师合影留念