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PVD设备清洗改造实录
日期:2013-08-27 字体大小:

我心爱的稀土永磁材料表面防护磁控溅射系统已经服役5年,原来的神器已经步履蹒跚,隐隐有要报废的趋势。闸板阀屡次无法关闭,加热器无法正常使用,PLC问题不断,离子源频繁短路,最头痛的还是腔室污染严重,抽真空时间已经沿着指数函数规律递增,看着EDS数据每次高高在上的氧含量,我们的倪成林同学的脸上总是充满了"绝望"。

任何研究工作最后都会变成体力活,所以我们决定用体力活对小稀进行一次彻底的维护升级。首先要进行清洗工作,我们的聂霞在高豪同学的协助下,从早上8点到晚上8点,完成了图一所示,堆积如小山般的零件的喷砂工作,这让我们几个汗颜之余,更是刮目相看。都说巾帼不让须眉,聂霞同学是秒杀须眉,以后喷砂都交给你了。附上靓照,特此留念。

图一.聂霞喷砂清洗过的零件及聂霞

为了不影响清洗的进度,清洗前夜,倪成林同学通宵实验,第二天又赶来热火朝天的实验室工地工作,这是什么精神?额头上的印记为证,这是忘我的“铁人”工作精神啊,如图二。

 

图二. 打了印记的倪成林

看着我们的晏敏胜同学将自己的脑袋都交给小稀的照片(图三),任何赞美他的语言都显得苍白。

 

图三. 将脑袋托付给小稀的晏敏胜。

有一个小插曲,组装完设备后,设备漏气非常严重。经检测,漏气的位置都是我装的,囧。这让几个家伙有了鄙视我的理由,好吧,能够鄙视我说明你们进步了,已经远超越我了,我很高兴能够看到你们的进步,也希望你们持续地进步。要不说真空设备是个技术活呢,最后,还是晏师傅出马搞定。

设备的维护,要感谢沈阳科仪的李伟高级工程师的专业指导。

焕然一新的设备抽速已经由原来的6小时到2*10-3 Pa,缩短为1.5小时,这让大家雀跃不已,成就感猛升。艰苦奋斗得来的果实更加甜美,现在,小稀已经恢复了他的神力,剩下的就看你们如何用好他。要是不能尽快出成果,你们都愧对你们经历的艰苦岁月啊。

在不长的研究生生涯里,几位研究生,你们能够完成这样一件事情:发现设备问题,制定解决方案,经过艰苦的劳动解决问题。以后回想起来,这可能会成为你们研究生生涯里,不美好、但却有深刻印记、并让你们回味的一个片段。

 先进金属材料及防护团队

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