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我组pvd团队成员维护升级磁控溅射系统
日期:2013-08-22 字体大小:

   2013年5月至7月,我组的磁控溅射系统进行了大规模的维护与升级。首先在5月初成功升级小腔室镀膜系统,增加三组磁控靶源,其中一组为强磁靶源,对PLC控制系统、软件系统重新编写,经升级的小腔室可进行高温以及合金沉积;7月课题组又对大腔室设备进行了拆除重装与彻底的清理。中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司售后服务部的高级工程师李伟帮助安装新的加热器、加装了防护板,并对设备损耗部位进行了改进。经过大家几个月的忙碌工作,设备焕然一新,工作效率得到了大幅度的提升。通过此次升级,锻炼了课题组成员对相关设备的维护改造能力。
   我组的“稀土永磁材料表面防护磁控溅射系统”自2007年组建以来,已历时6年。此系统拥有合理的设计,可对块体材料完全均匀包覆镀膜,达到优异的防护效果。在它的支撑下,我组承担了国家支撑计划一项,并与企业多次合作解决了工程难题。培养博士后、博士、硕士多名,先后有刘庆、李金龙、赵斌、冒守栋、谢婷婷、余超、聂霞、倪成林、晏敏胜等利用该设备从事研究工作,郑必长、冒守栋等人对设备软件硬件系统进行升级。目前,我组在稀土永磁材料的防护方面已取得一定的成果,发表论文多篇,取得专利多项。

  

                              大家在辛苦维护系统

  

三位研究生与高级工程师李伟合影

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